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PECVD扩散炉用
E系列多路单控电力调整器
  • 6-7个回路单独控制
  • 过零触发
  • 高分辨率调节输出
  • 指示灯显示输出状态
  • 支持配置RS485通讯接口
电力调整器
E系列多路单控电力调整器【三相30-160A】

E系列电力调整器采用模组设计,内部集成最多7回路。数码管指示灯显示六路或七路输出状态。内置快熔保护。

产品主要应用于扩散炉、PECVD、外延炉等。

产品特点:

● 全数字电路控制,32位ARM芯片,稳定性高

● 体积小,内部集成6个或7个调功回路,每个回路独立控制

● 处理及响应速度快,控制精度优于1%,分辨率高,线性好

● PCB板零件少故障率低,使用寿命长

● 支持485通讯控制(选件)

● 当SCR散热器温度高于85℃时报警输出,不关机。达到120℃时强制关机